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使用硬度较高的成型活性炭，可以装载在数个吸附罐体中对于引入的VOCs废气进行吸附。待吸附饱和之后通过另一路加热的脱附风对罐内进行吹扫，可以将VOCs废气以较小风量脱附出活性炭储罐。当一套系统对复数活性炭罐进行并联时，可以浓缩大风量的VOCs工艺尾气。
活性炭材料吸附效率高，但安全上活性炭难以控制，脱附温度高回导致起火甚至爆炸等危险情况。适合于沸点较低的溶剂挥发物。
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催化氧化法（CO）：
利用化学催化剂的催化性能降低通过催化床的物质的燃点，可以在较低温度条件下就实现废气的热氧化。由于不需要将反应温度升高到高温就可以实现物的分解氧化，系统可以在相对较低温的条件下运行，升温速度更快，且可以利用电热管等方法对系统进行加热，燃料选择面更广。
与直燃氧化法相同，可以通过换热器将部分尾气的热量传递给设备入口的尾气，降低前后的温差。
催化氧化法通常应用在风量较小、废气浓度较高的生产工艺。更适合于需要隔爆的生产现场。但由于催化剂的性能限制，不可在废气中含有卤素、金属粉尘、硅粉尘等工艺的生产现场使用。