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类似转轮使用的人造沸石，利用一些硅氧化物的高温高压成型的多微孔材料，可以对VOCs废气的分子进行吸附，并且可以在较高的温度条件下进行VOCs气体分子的脱附。由于材料本身的不燃性，可以在装载了吸附填料的罐体中先吸附储存工艺废气，在吸附饱和后进行脱附处置。适合于间隔时间较长、溶剂使用量较小的生产工艺。
1）安全性：不燃性，不担心吸附/浓缩系统有失火的危险。材料本身强度大大高于活性碳，发生粉化爆燃的可能性远比活性碳低。
2）脱附温度：相比脱附温度只能达到90℃的活性碳，分子筛填料可以在1000℃范围内工作。实际操作中利用近200℃的高温烟气在短时间内可充分脱附附着在填料微孔内的高沸点废气分子。
3）长寿命：频繁使用条件下相比数月就必须更换的活性碳，分子筛填料的使用寿命可达到5年以上，大大降低使用成本和频繁更换吸附材料而带来的管理成本。
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1、直燃氧化法（TO）：
使用燃烧器加热炉体到废气的分解温度后，通入生产工艺的尾气使尾气中的废气在高温下发生热氧化。出口的高温烟气通过换热器将部分热量传递给炉体入口的工艺尾气。所产生的能耗来自进出口尾气的温度差。
直燃燃烧法具有加热速度快，反应温度高、物清除效率高的优点。但换热效率由于换热器换热面积的限制通常只有60～70%。因此同等风量条件下直燃氧化法的能耗较大。通常适合于风量较小、废气浓度较高的生产工艺。
2、催化氧化法（CO）：
利用化学催化剂的催化性能降低通过催化床的物质的燃点，可以在较低温度条件下就实现废气的热氧化。由于不需要将反应温度升高到高温就可以实现物的分解氧化，系统可以在相对较低温的条件下运行，升温速度更快，且可以利用电热管等方法对系统进行加热，燃料选择面更广。
与直燃氧化法相同，可以通过换热器将部分尾气的热量传递给设备入口的尾气，降低前后的温差。
催化氧化法通常应用在风量较小、废气浓度较高的生产工艺。更适合于需要隔爆的生产现场。但由于催化剂的性能限制，不可在废气中含有卤素、金属粉尘、硅粉尘等工艺的生产现场使用。
3、蓄热催化氧化法（RCO）：
在蓄热氧化炉的蓄热塔内装载催化床，可以在较高的换热效率下实现较低温的催化氧化。由于在炉体内必须留出空间给催化床，蓄热催化氧化炉的换热效率和保温性能要低于蓄热氧化炉，且催化效率低于通常的催化氧化炉。
适合于风量中、小的各类生产工艺，但由于催化剂的性能限制，不可在废气中含有卤素、金属粉尘、硅粉尘等工艺的生产现场使用。